909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory mangrupikeun proyek konstruksi utama industri éléktronik nagara kuring salami Rencana Lima Taun Kasalapan pikeun ngahasilkeun chip kalayan rubak garis 0,18 mikron sareng diaméter 200 mm.
Téknologi manufaktur sirkuit terpadu skala ageung henteu ngan ukur ngalibatkeun téknologi precision tinggi sapertos micro-machining, tapi ogé nempatkeun syarat anu luhur pikeun kamurnian gas.
Pasokan gas bulk pikeun Project 909 disayogikeun ku usaha patungan antara Praxair Utility Gas Co., Ltd. Amérika Serikat sareng pihak anu relevan di Shanghai pikeun babarengan ngadegkeun pabrik produksi gas. Pabrik produksi gas caket sareng pabrik proyék 909. wangunan, ngawengku aréa kira-kira 15.000 méter pasagi. Sarat purity jeung kaluaran rupa-rupa gas
Nitrogén purity tinggi (PN2), nitrogén (N2), sarta oksigén purity tinggi (PO2) dihasilkeun ku separation hawa. Hidrogen purity luhur (PH2) dihasilkeun ku éléktrolisis. Argon (Ar) jeung hélium (He) dibeuli outsourced. Gas kuasi dimurnikeun sareng disaring kanggo dianggo dina Proyék 909. Gas khusus disayogikeun dina botol, sareng kabinét botol gas aya di bengkel bantu pabrik produksi sirkuit terpadu.
Gas séjén ogé kaasup sistem CDA hawa dikomprés garing bersih, kalayan volume pamakéan 4185m3 / h, titik embun tekanan -70 ° C, sarta ukuran partikel teu leuwih ti 0,01um dina gas dina titik pamakéan. Sistem engapan hawa dikomprés (BA), volume pamakean 90m3 / h, titik embun tekanan 2 ℃, ukuran partikel dina gas dina titik pamakean henteu langkung ageung tibatan 0.3um, sistem vakum prosés (PV), volume pamakean 582m3 / h, gelar vakum dina titik pamakéan -79993Pa. beberesih vakum (HV) Sistim, volume pamakéan 1440m3 / h, gelar vakum dina titik pamakéan -59995 Pa The hawa compressor kamar jeung kamar pompa vakum duanana lokasina di 909 aréa pabrik proyék.
Pamilihan bahan pipa sareng asesoris
Gas anu dianggo dina produksi VLSI ngagaduhan syarat kabersihan anu luhur pisan.Pipa gas-purity luhurbiasana dipaké dina lingkungan produksi bersih, jeung kontrol kabersihan maranéhanana kudu konsisten jeung atawa leuwih luhur ti tingkat kabersihan rohangan dipaké! Sajaba ti éta, pipelines gas-purity tinggi mindeng dipaké dina lingkungan produksi bersih. Hidrogen murni (PH2), oksigén kemurnian luhur (PO2) sareng sababaraha gas khusus nyaéta gas anu gampang kaduruk, ngabeledug, ngadukung durukan atanapi gas beracun. Upami sistem pipa gas dirarancang sacara teu leres atanapi bahan-bahanna henteu dipilih sacara leres, henteu ngan ukur kamurnian gas anu dianggo dina titik gas bakal turun, tapi ogé bakal gagal. Éta nyumponan sarat prosés, tapi henteu aman dianggo sareng bakal nyababkeun polusi ka pabrik bersih, mangaruhan kasalametan sareng kabersihan pabrik bersih.
Jaminan kualitas gas-purity tinggi dina titik pamakéan teu ukur gumantung kana katepatan produksi gas, parabot purifikasi sarta saringan, tapi ogé dipangaruhan extent badag ku sababaraha faktor dina sistem pipa. Lamun urang ngandelkeun alat-alat produksi gas, alat purifikasi sarta saringan Éta ngan saukur lepat maksakeun syarat precision infinitely luhur pikeun ngimbangan desain sistem pipa gas bener atawa Pilihan bahan.
Salila prosés desain proyék 909, urang nuturkeun "Kode pikeun Desain Tutuwuhan Beresih" GBJ73-84 (standar ayeuna nyaéta (GB50073-2001)), "Kode pikeun Desain Stasion Udara Dikomprés" GBJ29-90, "Kode. pikeun Desain Stasion Oksigén" GB50030-91 , "Kode Desain Stasion Hidrogen sareng Oksigén" GB50177-93, sareng ukuran téknis anu relevan pikeun seleksi bahan pipa sareng asesoris. "Kode pikeun Desain Tutuwuhan Beresih" netepkeun pilihan bahan pipa sareng klep sapertos kieu:
(1) Lamun purity gas leuwih gede atawa sarua jeung 99,999% jeung titik embun leuwih handap -76 ° C, 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan electropolished témbok jero atawa OCr18Ni9 pipe stainless steel (304) kalawan témbok jero electropolished kudu dipaké. klep kudu klep diafragma atawa klep bellows.
(2) Lamun purity gas leuwih gede atawa sarua jeung 99,99% jeung titik embun leuwih handap -60 ° C, OCr18Ni9 tube stainless steel (304) kalawan témbok jero electropolished kudu dipaké. Iwal valves bellows nu kudu dipaké pikeun pipelines gas combustible, valves bola kudu dipaké pikeun pipelines gas lianna.
(3) Lamun titik embun hawa dikomprés garing leuwih handap -70 ° C, OCr18Ni9 pipe stainless steel (304) kalawan témbok jero digosok kudu dipaké. Lamun titik embun leuwih handap -40 ℃, OCr18Ni9 pipe stainless steel (304) atawa hot-dip galvanized pipe baja seamless kudu dipaké. klep kudu klep bellows atawa klep bola.
(4) Bahan klep kedah cocog sareng bahan pipa nyambungkeun.
Numutkeun sarat spésifikasi sareng ukuran téknis anu relevan, urang utamina mertimbangkeun aspék-aspék ieu nalika milih bahan pipa:
(1) The perméabilitas hawa bahan pipe kedah leutik. Pipa tina bahan béda boga perméabilitas hawa béda. Upami pipa anu perméabilitas hawa langkung ageung dipilih, polusi henteu tiasa dileungitkeun. Pipa stainless steel sareng pipa tambaga langkung saé pikeun nyegah penetrasi sareng korosi oksigén dina atmosfir. Sanajan kitu, saprak pipa stainless steel anu kirang aktip ti pipa tambaga, pipa tambaga anu leuwih aktip dina sahingga Uap di atmosfir nembus kana surfaces batin maranéhanana. Ku alatan éta, nalika milih pipa pikeun pipelines gas-purity tinggi, pipa stainless steel kedah pilihan kahiji.
(2) Beungeut jero tina bahan pipa adsorbed sarta boga pangaruh leutik dina analisa gas. Saatos pipa stainless steel diolah, sajumlah gas bakal dipikagaduh dina kisi logam na. Nalika gas-purity luhur ngaliwatan, ieu bagian tina gas bakal asup kana aliran hawa sarta ngabalukarkeun polusi. Dina waktu nu sarua, alatan adsorption jeung analisis, logam dina beungeut jero pipa ogé bakal ngahasilkeun jumlah nu tangtu bubuk, ngabalukarkeun polusi ka gas-purity tinggi. Pikeun sistem piping kalawan purity luhur 99,999% atawa tingkat ppb, 00Cr17Ni12Mo2Ti karbon low pipe stainless steel (316L) kudu dipake.
(3) Résistansi maké pipa stainless steel leuwih hade tinimbang pipa tambaga, sarta lebu logam dihasilkeun ku erosi aliran hawa relatif kirang. Bengkel produksi kalayan sarat anu langkung luhur pikeun kabersihan tiasa nganggo pipa baja karbon rendah karbon 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) atanapi pipa stainless steel OCr18Ni9 (304), pipa tambaga henteu kedah dianggo.
(4) Pikeun sistem perpipaan kalayan kamurnian gas di luhur 99,999% atanapi tingkat ppb atanapi ppt, atanapi di kamar bersih kalayan tingkat kabersihan hawa N1-N6 anu dijelaskeun dina "Kode Desain Pabrik Beresih", pipa ultra-bersih atanapiEP pipa ultra-bersihkedah dianggo. Bersih "tabung bersih kalayan permukaan jero ultra-halus".
(5) Sababaraha sistem pipa gas husus dipaké dina prosés produksi gas kacida corrosive. Pipa dina sistem pipa ieu kedah nganggo pipa stainless steel tahan korosi salaku pipa. Upami teu kitu, pipa bakal ruksak alatan korosi. Upami bintik korosi lumangsung dina permukaan, pipa baja seamless biasa atanapi pipa baja dilas galvanis teu kedah dianggo.
(6) Sacara prinsip, sadaya sambungan pipa gas kedah dilas. Kusabab las pipa baja galvanized bakal ngancurkeun lapisan galvanized, pipa baja galvanized teu dipaké pikeun pipa di kamar beresih.
Nyandak faktor di luhur kana tinimbangan, pipa gas pipa na valves dipilih dina & 7 & proyék nyaéta kieu:
The-purity tinggi nitrogén (PN2) pipa Sistim dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
The nitrogén (N2) sistem pipa dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
The-purity tinggi hidrogén (PH2) pipa Sistim dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
The-purity tinggi oksigén (PO2) pipa Sistim dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan témbok jero elektro-digosok, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
Argon (Ar) pipa Sistim dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua dipaké.
The hélium (He) pipa Sistim dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
The bersih garing dikomprés hawa (CDA) pipa Sistim dijieunna tina OCr18Ni9 pipa stainless steel (304) kalawan tembok jero digosok, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
The engapan hawa dikomprés (BA) pipa Sistim dijieunna tina OCr18Ni9 pipa stainless steel (304) kalawan tembok jero digosok, sarta valves dijieunna tina valves bal stainless steel tina bahan anu sarua.
Pipa sistem vakum prosés (PV) didamel tina pipa UPVC, sareng klepna didamel tina klep kukupu vakum anu didamel tina bahan anu sami.
Pipa sistem vakum beberesih (HV) didamel tina pipa UPVC, sareng klepna didamel tina klep kukupu vakum anu didamel tina bahan anu sami.
Pipa tina sistem gas husus anu sagala dijieunna tina 00Cr17Ni12Mo2Ti low-karbon pipa stainless steel (316L) kalawan tembok jero electropolished, sarta valves dijieunna tina stainless steel bellows valves tina bahan anu sarua.
3 Pangwangunan sareng pamasangan pipa
3.1 Bagéan 8.3 tina "Kode Desain Gedong Pabrik Beresih" netepkeun kaayaan di handap pikeun sambungan pipa:
(1) Sambungan pipa kudu dilas, tapi pipa baja galvanized hot-dip kudu threaded.The bahan sealing sambungan threaded wajib sasuai jeung sarat tina Pasal 8.3.3 spésifikasi ieu
(2) Pipa stainless steel kudu disambungkeun ku las argon arc jeung las butt atanapi las stop kontak, tapi pipelines gas-purity tinggi kudu disambungkeun ku las butt tanpa tanda dina témbok jero.
(3) Sambungan antara pipelines jeung alat-alat kudu sasuai jeung sarat sambungan tina equipment.When ngagunakeun sambungan selang, hoses logam kudu dipaké.
(4) Sambungan antara pipa sareng klep kedah saluyu sareng peraturan di handap ieu
① Bahan sealing nyambungkeun pipelines gas-purity tinggi na valves kedah nganggo gaskets logam atawa ferrules ganda nurutkeun sarat tina prosés produksi jeung ciri gas.
②Bahan sealing dina sambungan threaded atanapi flange kedah polytetrafluoroethylene.
3.2 Numutkeun sarat spésifikasi sareng ukuran téknis anu relevan, sambungan pipa gas-purity luhur kedah dilas saloba mungkin. las butt langsung kudu dihindari salila las. Leungeun pipa atanapi sambungan anu réngsé kedah dianggo. The sleeves pipe kudu dijieun tina bahan anu sarua jeung smoothness permukaan jero sakumaha pipa. tingkat, salila las, guna nyegah oksidasi bagian las, gas pelindung murni kudu diwanohkeun kana pipe las. Pikeun pipa stainless steel, las argon arc kudu dipaké, sarta gas argon tina purity sarua kudu diwanohkeun kana pipa. Sambungan benang atanapi sambungan benang kedah dianggo. Nalika nyambungkeun flanges, ferrules kudu dipaké pikeun sambungan threaded. Iwal pipa oksigén sareng pipa hidrogén, anu kedah nganggo gasket logam, pipa anu sanés kedah nganggo gasket polytetrafluoroethylene. Nerapkeun sajumlah leutik karét silikon kana gasket ogé bakal efektif. Ningkatkeun pangaruh sealing. Ukuran sarupa kudu dilaksanakeun nalika sambungan flange dijieun.
Sateuacan karya instalasi dimimitian, inspeksi visual lengkep ngeunaan pipa,kelengkapan, valves, jsb kudu dilaksanakeun. Tembok jero pipa stainless steel biasa kudu pickled saméméh instalasi. Pipa, fittings, valves, jsb tina pipelines oksigén kudu mastikeun dilarang tina minyak, sarta kudu mastikeun degreased nurutkeun sarat relevan saméméh instalasi.
Sateuacan sistem dipasang sareng dianggo, sistem pipa transmisi sareng distribusi kedah dibersihkeun lengkep sareng gas murni anu dikirimkeun. Ieu mah ngan saukur blows jauh partikel lebu anu ngahaja murag kana sistem salila prosés instalasi, tapi ogé muterkeun hiji peran drying dina sistem pipa, nyoplokkeun bagian tina gas Uap-ngandung diserep ku témbok pipe komo bahan pipa.
4. Test tekanan pipa jeung ditampa
(1) Saatos sistem dipasang, pamariksaan radiografi 100% tina pipa anu ngangkut cairan anu beracun dina pipa gas khusus kedah dilaksanakeun, sareng kualitasna henteu langkung handap tina Level II. Pipa séjén kudu tunduk kana sampling inspeksi radiographic, sarta rasio inspeksi sampling teu kudu kirang ti 5%, kualitas teu kudu leuwih handap kelas III.
(2) Saatos lulus pamariksaan anu henteu ngaruksak, uji tekanan kedah dilaksanakeun. Pikeun mastikeun kagaringan sareng kabersihan sistem pipa, uji tekanan hidrolik henteu kedah dilaksanakeun, tapi uji tekanan pneumatik kedah dianggo. Uji tekanan hawa kedah dilakukeun nganggo nitrogén atanapi hawa anu dikomprés anu cocog sareng tingkat kabersihan kamar bersih. Tekanan uji pipa kedah 1,15 kali tekanan desain, sareng tekanan uji pipa vakum kedah 0.2MPa. Salila tés, tekanan kedah laun-laun sareng laun-laun ningkat. Nalika tekanan naék kana 50% tina tekanan tés, upami teu aya abnormalitas atanapi kabocoran anu kapendak, teraskeun ningkatkeun tekanan step by step ku 10% tina tekanan tés, sareng stabilkeun tekanan salami 3 menit dina unggal tingkat dugi ka tekanan tés. . Stabilkeun tekanan pikeun 10 menit, teras ngurangan tekanan kana tekanan desain. Waktu eureun tekanan kudu ditangtukeun dumasar kana kabutuhan deteksi bocor. Agén foaming mumpuni lamun euweuh leakage.
(3) Saatos sistem vakum lulus uji tekanan, éta ogé kedah ngalaksanakeun tés gelar vakum 24 jam dumasar kana dokumén desain, sareng tingkat tekanan henteu kedah langkung ageung tibatan 5%.
(4) Uji bocor. Pikeun sistem pipa kelas ppb sareng ppt, numutkeun spésifikasi anu sasuai, henteu aya bocor anu kedah dianggap mumpuni, tapi uji jumlah bocor dianggo nalika desain, nyaéta, uji jumlah bocor dilaksanakeun saatos uji kedap hawa. Tekanan nyaéta tekanan kerja, sareng tekanan dieureunkeun salami 24 jam. Bocoran per jam rata-rata kirang ti atanapi sami sareng 50ppm salaku mumpuni. Itungan leakage nyaéta kieu:
A = (1-P2T1 / P1T2) * 100 / T
Dina rumus:
A-jam bocor (%)
P1-Tekanan mutlak dina awal tés (Pa)
P2-Tekanan mutlak dina ahir tés (Pa)
T1-suhu mutlak dina awal tés (K)
T2-suhu mutlak dina ahir tés (K)
waktos pos: Dec-12-2023