1. Bulk Gas System Harti:
Panyimpenan sareng kontrol tekanan gas inert Jenis gas: Gas inert has (nitrogen, argon, hawa dikomprés, jsb.)
Ukuran pipa: Ti 1/4 (pipa ngawaskeun) kana pipa utama 12 inci
Produk utama sistem nyaéta: klep diafragma / klep bellows / klep bal, konektor purity tinggi (VCR, formulir las), konektor ferrule, klep régulasi tekanan, gauge tekanan, jsb.
Ayeuna, sistem anyar ogé kalebet sistem gas khusus bulk, anu nganggo tabung gas tetep atanapi treuk tank pikeun neundeun sareng transportasi.
2. Harti Sistim Purifikasi:
Ngahapus pangotor tina gas bulk pikeun pipelines gas-purity tinggi
3. Kabinét Gas Harti:
Nyadiakeun kontrol tekanan sarta ngawas aliran pikeun sumber gas husus (toksik, kaduruk, réaktif, gas corrosive), sarta mibanda kamampuhan pikeun ngaganti tabung gas.
Lokasi: Tempatna di lantai Sub-fab atanapi lanté handap pikeun neundeun gas khusus Sumber: NF3, SF6, WF6, jsb.
Ukuran pipa: Pipa gas internal, umumna 1/4 inci pikeun prosés pipa, 1 / 4-3 / 8 inci utamana pikeun purity tinggi nitrogén ngabersihan pipa.
Produk utama: valves diafragma purity High, pariksa valves, gauges tekanan, gauges tekanan, panyambungna purity tinggi (VCR, formulir las) cabinets gas ieu dasarna ngandung kamampuhan switching otomatis pikeun silinder pikeun mastikeun suplai gas kontinyu jeung ngagantian aman tina silinder.
4. Definisi Distribusi:
Nyambungkeun sumber gas ka coil kempelan gas
Ukuran garis: Di pabrik chip, ukuran pipa distribusi gas bulk umumna dibasajankeun 1/2 inci nepi ka 2 inci.
Bentuk sambungan: Pipa gas khusus umumna dihubungkeun ku las, tanpa sambungan mékanis atanapi bagian anu gerak anu sanés, utamina kusabab sambungan las gaduh réliabilitas sealing anu kuat.
Dina pabrik chip, aya ratusan kilométer tubing disambungkeun ka ngirimkeun gas, nu dasarna ngeunaan 20 suku panjang tur dilas babarengan. Sababaraha bends tubing sareng sambungan las tubular ogé umum pisan.
5. Kotak klep multi-fungsi (Valve Manifold Box, VMB) Harti:
Éta pikeun ngadistribusikaeun gas khusus tina sumber gas ka tungtung alat anu béda.
Ukuran pipa internal: pipa prosés 1/4 inci, sareng pipa bersih 1/4 - 3/8 inci. Sistim nu bisa make kontrol komputer pikeun merlukeun valves actuated atawa kaayaan ongkos handap kalawan valves manual.
produk Sistim: purity tinggi diafragma valves / bellows valves, pariksa valves, purity tinggi mendi (VCR, micro-las formulir), tekanan régulasi valves, gauges tekanan sarta gauges tekanan, jsb Pikeun sebaran sababaraha gas mulya, nu klep Manifold Panel - VMP (multi-fungsi klep disc) utamana dipaké, nu boga permukaan disc gas kabuka sarta teu merlukeun desain spasi katutup sarta ngabersihan tambahan nitrogén.
6. Plat klep sekundér / kotak (Panel Hookup Alat) Harti:
Sambungkeun gas anu diperyogikeun ku alat semikonduktor tina sumber gas ka tungtung alat sareng nyayogikeun pangaturan tekanan anu saluyu. Panel ieu mangrupikeun sistem kontrol gas anu langkung caket kana tungtung alat tibatan VMB (kotak klep multi-fungsi).
Ukuran pipa gas: 1/4 - 3/8 inci
Ukuran pipa cair: 1/2 - 1 inci
Ukuran pipa pembuangan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: klep diafragma / klep bellows, klep saarah, klep pangatur tekanan, gauge tekanan, gauge tekanan,-purity joint (VCR, mikro-las), ferrule joint, klep bola, selang, jsb
waktos pos: Nov-22-2024