1. Définisi Sistem Gas Curah:
Panyimpenan sareng kontrol tekanan gas inert Jenis gas: Gas inert has (nitrogén, argon, hawa anu dikomprés, jsb.)
Ukuran pipa: Ti 1/4 (pipa pangawas) dugi ka pipa utama 12 inci
Produk utama sistem ieu nyaéta: klep diafragma/klep bellows/klep bal, konektor kamurnian tinggi (VCR, bentuk las), konektor ferrule, klep pangatur tekanan, alat ukur tekanan, jsb.
Ayeuna, sistem anyar ieu ogé ngawengku sistem gas khusus curah, anu nganggo tabung gas tetep atanapi treuk tangki pikeun panyimpenan sareng transportasi.
2. Définisi Sistem Pemurnian:
Ngaleungitkeun kokotor tina gas curah pikeun pipa gas murni
3. Définisi Lemari Gas:
Nyayogikeun kontrol tekanan sareng pangawasan aliran pikeun sumber gas khusus (gas toksik, gampang kaduruk, réaktif, korosif), sareng gaduh kamampuan pikeun ngagentos tabung gas.
Lokasi: Perenahna di lantai Sub-fab atanapi lantai handap pikeun nyimpen gas khusus Sumber: NF3, SF6, WF6, jsb.
Ukuran pipa: Pipa gas internal, umumna 1/4 inci pikeun pipa prosés, 1/4-3/8 inci utamina pikeun pipa purge nitrogén murni.
Produk utama: Katup diafragma murni, katup cek, alat ukur tekanan, alat ukur tekanan, konektor murni (VCR, bentuk las) Kabinet gas ieu dasarna ngandung kamampuan switching otomatis pikeun silinder pikeun mastikeun suplai gas anu kontinyu sareng panggantian silinder anu aman.
4. Définisi Distribusi:
Nyambungkeun sumber gas kana koil pangumpul gas
Ukuran jalur: Di pabrik chip, ukuran pipa distribusi gas curah umumna antara 1/2 inci dugi ka 2 inci.
Bentuk sambungan: Pipa gas khusus umumna dihubungkeun ku cara dilas, tanpa sambungan mékanis atanapi bagian anu bergerak anu sanés, utamina kusabab sambungan las gaduh reliabilitas sealing anu kuat.
Dina pabrik chip, aya ratusan kilométer pipa anu disambungkeun pikeun ngirimkeun gas, anu panjangna sakitar 20 kaki sareng dilas babarengan. Sababaraha tikungan pipa sareng sambungan las tubular ogé umum pisan.
5. Kotak klep multi-fungsi (Kotak Manifold Katup, VMB) Définisi:
Éta pikeun nyebarkeun gas khusus tina sumber gas ka tungtung alat anu béda.
Ukuran pipa internal: pipa prosés 1/4 inci, sareng pipa purge 1/4 - 3/8 inci. Sistem ieu tiasa nganggo kontrol komputer pikeun meryogikeun klep anu diaktipkeun atanapi kaayaan biaya anu langkung handap nganggo klep manual.
Produk sistem: klep diafragma/klep bellows anu murni, klep cek, sambungan anu murni (VCR, bentuk las mikro), klep pangatur tekanan, alat ukur tekanan sareng alat ukur tekanan, jsb. Pikeun distribusi sababaraha gas inert, Panel Manifold Katup - VMP (cakram klep multi-fungsi) utamina dianggo, anu gaduh permukaan cakram gas kabuka sareng henteu meryogikeun desain rohangan katutup sareng purge nitrogén tambahan.
6. Pelat/kotak klep sekundér (Panel Hookup Alat) Définisi:
Sambungkeun gas anu diperyogikeun ku alat semikonduktor tina sumber gas ka tungtung alat sareng pasihan pangaturan tekanan anu saluyu. Panel ieu mangrupikeun sistem kontrol gas anu langkung caket kana tungtung alat tibatan VMB (kotak klep multi-fungsi).
Ukuran pipa gas: 1/4 - 3/8 inci
Ukuran pipa cairan: 1/2 - 1 inci
Ukuran pipa pembuangan: 1/2 - 1 inci
Produk utama: klep diafragma/klep bellows, klep hiji arah, klep pangatur tekanan, alat ukur tekanan, alat ukur tekanan, sambungan kamurnian tinggi (VCR, mikro-las), sambungan ferrule, klep bal, selang, jsb.
Waktos posting: 22 Nopémber 2024